IT之家·2026-10-14 15:16· 4 小时前AI 评分67

朗道燧岩在2026年工博会展示国产化率90%的EUV光源系统样机

朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

AI 导读

朗道燧岩在2026年工博会首次展示EUV光源系统样机，国产化率达90%，可用于芯片曝光测试。该样机完成了技术路线验证，但距离量产仍需3至5年，当前挑战是提升输出功率和长期运行稳定性。

来源：IT之家 · ithome.com