三星电子蚀刻工艺配方泄露至泛林半导体韩国分公司

据 The Elec 核实报道，三星电子半导体蚀刻工艺配方泄露至设备供应商泛林半导体（Lam Research）韩国分公司，三星于今年下半年察觉。泛林韩国分公司通过不合规申请多次未授权传输数据；业内观察认为此事或与该公司 11 月 6 日任命金泰元为新任 CEO 的人事更迭有关。工艺配方记录温度、压力、气体流量、处理时长等参数，属核心工艺资料，双方均未回应采访问询。