浙大团队发布硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片

浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队国内首次发布硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片。硅烷特气硅-28丰度为99.99576%、化学纯度为99.99998%，外延层硅-28丰度为99.9937%；当前公布的是材料制备阶段数据，尚未涉及量子器件的相干时间、门保真度等指标。