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泛林集团探索 SA-CFET 架构,6T SRAM 单元面积较 N3 缩小 52.7%

1nm 之后晶体管怎么走?泛林集团探索 SA-CFET 架构,SRAM 单元面积较 N3 缩小 52.7%

AI 导读

泛林集团当地时间 9 月 29 日提出 SA-CFET 架构,通过 SA-BPR、SA-CT 和 SA-TSV 三个自对准工艺模块,探索 CMOS 晶体管向 10 Å(1nm)及以下节点推进。

来源:IT之家 · ithome.com