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俄罗斯推进130纳米光刻工具研发
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AI 综述
2026年10月5日，俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）宣布完成首台可处理200毫米晶圆、采用130纳米工艺的光刻工具第三阶段研发。该工具目前仍处于内部工程与验收测试阶段，尚未披露完成全部研发或投入制造的进展。
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最新进展10月5日 18:50
ZNTC完成原型第三阶段研发，正进行内部工程与验收测试。报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月5日
- Tom’s Hardware俄罗斯 ZNTC 完成可处理 130nm 工艺的 200mm 晶圆光刻工具第三阶段研发
俄罗斯 Zelenograd Nanotechnology Center（ZNTC）完成首台可处理 200mm 晶圆、采用 130nm 工艺的光刻工具第三阶段研发，目前处于内部工程与验收测试阶段。
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