Langdao Silex展示国产EUV激光源原型FlintNano LPP-OXXO

中国初创公司Langdao Silex展示了FlintNano LPP-OXXO原型EUV激光源，称其输出功率超过15 W，组件约90%为国内来源或自主开发。该系统采用LPP技术，配备1,000 W驱动激光，重复频率为1至20 kHz，转换效率超过2%，并可连续运行超过100小时，但公司预计还需三至五年才能实现量产。