朗铎思晶展示国产EUV光源原型
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朗铎思晶展示国产EUV光源原型
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AI 综述
朗铎思晶展示FlintNano LPP-OXXO极紫外光源原型，称其输出功率超过15W、约90%组件为国产或自主开发，可连续运行逾100小时，但功率仍不足以用于高产量芯片生产。该系统采用LPP技术，驱动激光功率为1000W，重复频率为1至20 kHz，转换效率超过2%，公司称其可用于晶圆曝光测试，仍需进一步调试。 原型在上海工博会上未实际点亮，性能数据均来自公司。朗铎思晶预计还需三至五年才能量产；TrendForce援引多方来源也给出相同时间判断。该设备是EUV光源，并非完整的EUV光刻扫描机。
AI 根据报道生成 · 22 分钟前更新
最新进展10月17日 01:43
Langdao Silex展示国产EUV激光源原型FlintNano LPP-OXXO报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月17日
- TechPowerUpLangdao Silex展示国产EUV激光源原型FlintNano LPP-OXXO
中国初创公司Langdao Silex展示了FlintNano LPP-OXXO原型EUV激光源，称其输出功率超过15 W，组件约90%为国内来源或自主开发。该系统采用LPP技术，配备1,000 W驱动激光，重复频率为1至20 kHz，转换效率超过2%，并可连续运行超过100小时，但公司预计还需三至五年才能实现量产。
- Tom’s Hardware中国初创公司Langdao Silex展示EUV光源原型
中国初创公司Langdao Silex展示了输出功率超过15W、国产组件占比90%的FlintNano LPP-OXXO EUV光源原型，称其可连续运行超过100小时。报道指出，该系统距离商业化仍需三至五年，功率测量位置未明确，且光源本身不能构成EUV光刻扫描机。
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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。