中国初创公司Langdao Silex展示EUV光源原型

中国初创公司Langdao Silex展示了输出功率超过15W、国产组件占比90%的FlintNano LPP-OXXO EUV光源原型，称其可连续运行超过100小时。报道指出，该系统距离商业化仍需三至五年，功率测量位置未明确，且光源本身不能构成EUV光刻扫描机。