华洋精机与蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

华洋精机于本月5日宣布携手蔡司推出 COSMA-M，面向光罩、先进封装和晶圆等高精度测量需求。该设备具备纳米级测量精度，稳定度达到 3σ＜3nm，覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域，目前已获得部分潜在客户的送样验证测试。