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华洋精机与蔡司推出COSMA-M测量设备
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AI 综述
2026年10月5日，华洋精机宣布携手蔡司推出面向半导体高精度测量需求的COSMA-M设备。该设备覆盖光罩、先进封装和晶圆等领域，并支持DUV掩膜、TGV、CPO等应用；其测量精度达到纳米级，稳定度为3σ＜3nm。10月9日的后续报道显示，该设备目前已获得部分潜在客户的送样验证测试，尚未披露正式上市时间或更多客户信息。
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最新进展10月9日 16:53
COSMA-M已获部分潜在客户送样验证测试。报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月9日
- IT之家华洋精机与蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度
华洋精机于本月5日宣布携手蔡司推出 COSMA-M，面向光罩、先进封装和晶圆等高精度测量需求。该设备具备纳米级测量精度，稳定度达到 3σ＜3nm，覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV、CPO 等领域，目前已获得部分潜在客户的送样验证测试。
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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。