中微公司 Primo Domingo 全球首台设备付运，进入客户端验证

中微公司宣布，Primo Domingo 气相高选择性刻蚀设备全球首台机已付运国内一家集成电路研发制造客户。产品面向 GAA 晶体管、3D NAND 和 3D DRAM 等三维器件工艺，实验室验证中的 SiGe / Si 选择比大于 700:1，但该数据尚待客户端量产验证确认。