美光：4F² DRAM无可行规模化路径，转向3D DRAM并规划1ε与ζÅ节点

美光表示，4F² DRAM因复杂度和成本不足没有可行的规模化路径，未来将转向3D DRAM路线。1δ已进入良率爬坡阶段，1ε计划引入晶圆键合，ζÅ处于早期开发并导入High NA EUV；1δ可带来约25%的代际存储密度提升。